壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500

暢銷型號：D512MG、D522MG

流量范圍100sccm-10SLM，精度±1%

概要

壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——?dú)怏w流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊

特征

·         壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應(yīng)系統(tǒng)
·         多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應(yīng)壓力范圍
·         G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)
先進(jìn)G-Life功能允許操作人員進(jìn)行流量計(jì)自我監(jiān)測,通常會在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力
·         高精度
先進(jìn)的三維調(diào)節(jié)已改進(jìn)工藝氣體的流量精度
·         快速響應(yīng)
響應(yīng)速度＜0.8秒
已實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)且穩(wěn)定的流量控制
·         動態(tài)范圍
控制范圍：0.2% F.S. ~ 100% F.S.