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- 產品名稱：S48/32低成本質量流量控制器
- 產品型號：
- 產品展商：日本HORIBA
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簡單介紹
低成本質量流量控制器S48/32
S48/32是horiba厚禮博的暢銷產品，流量從1sccm-50LPM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號有4-20mA、0-5V可選。
質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 *高精度 *重復性好 *響應速度快、軟啟動、穩定可靠 *低壓降*操作使用方便，可任意位置安裝。
產品描述
低成本質量流量控制器S48/32
S48/32是horiba厚禮博的暢銷產品，流量從1sccm-50LPM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號有4-20mA、0-5V可選。
質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 *高精度 *重復性好 *響應速度快、軟啟動、穩定可靠 *低壓降
*操作使用方便，可任意位置安裝。
S48 32/HMT質量流量控制器（流量計）
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編號
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項目
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S48 32/HMT
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1
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流量規格
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(10,50,100,500)mL/min (0～1,5,10)L/min
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2
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調節閥類型
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電磁調節閥
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3
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調節閥靜止狀態
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常閉
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4
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安裝方向
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任意
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5
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流量控制范圍
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2%～100%
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6
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流量測量范圍
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（0～100）%
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7
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零點溫漂
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±30mV（15℃～35℃）
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8
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響應時間
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2s（設定值的±2% F.S）
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9
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工作環境溫度
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5℃～50℃
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10
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精度保證溫度
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15℃～35℃
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11
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精度
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±1.0%F.S
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12
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線性精度
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±0.5%F.S
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13
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重復性
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±0.2%F.S
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14
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工作壓差
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＜5L/min(0.05～0.3)MPa ，5L/min～10L/min： (0.1～0.3)MPa
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15
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耐壓
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10MPa
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16
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泄漏率
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1×10-8 Pa.m3/s
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17
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接觸氣體材料
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橡膠密封：SUS316L、PTFE、Viton氟橡膠
金屬密封：316L、PTFE
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18
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管路接頭
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1/4Swagelok,Φ6～Φ10
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19
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供電電源
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±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA；
+24VDC，250mA
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20
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設定信號
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±15VDC：(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ
+24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
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21
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流量輸出信號
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±15VDC：(0～5)VDC 負載能力≤3mA
+24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
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22
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電氣接頭
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D-SUB15
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23
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外形尺寸mm
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113(寬)×121（高）×32（厚）
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