流量液體源汽化控制系統 LE系列載氣，直接注入型概要 Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統，基于合理的內部結構設計，和高效熱傳導材料的使用，LE可實現高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結。操作溫度上限可達300℃，IPA汽化量可達30g/min（或等量）。*常見的使用有在太陽能電池制程中，可以用LE實現TMA氣化工藝。在PV的制程中，可以用LE實現OMCTS的氣化工藝。

產品描述

商品詳情

大流量液體源汽化控制系統 LE系列

載氣，直接注入型

概要

Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統，基于合理的內部結構設計，和高效熱傳導材料的使用，LE可實現高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結。操作溫度上限可達300℃，IPA汽化量可達30g/min（或等量）。*常見的使用有在太陽能電池制程中，可以用LE實現TMA氣化工藝。在PV的制程中，可以用LE實現OMCTS的氣化工藝。

特征

*大汽化率
*新的噴射器嘴確保持續不斷穩定汽化
全不銹鋼設計，*大程度的避免腐蝕及減少顆粒物生產
支持多種液體源汽化

規格

規格參數

已應用液體源	H₂O / IPA / TEOS / SICL₄
	更多的液體源汽化信息請與公司聯系
*大汽化量（氣體流量）	H₂O : 10g/min (12.4 SLM)
	IPA ： 30g/min (11.1 SLM）
	TEOS : 50g/min（5.3 SLM）
	SiCl₄ ： 130g/min（17.1 SLM）

液體源汽化系統

HORIBA的液體源汽化系統包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用**監測/汽化原理制作產品，比如壓差監測法或HORIBA更早前開發的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統。我們多種不同的汽化系統以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。

HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經驗

Acetic Acid	Benzene	B(OCH3)3	BTBAS	C6F6
Cyclohexane	Decyl-TMOS	DPM	DPMS	Ethanol
Ge(OCH3)4	GeCl4	H2O	HCD	HDFDA
HMDS	HMDSO	i-Octane	IPA	Me-Cyclohexane
Methanol	n-Octane	OMCTS	OMTS	P(OCH3)3
PO(OCH3)3	SAM24	Si(CH3)4	Si(OCH3)4	SiCH3Cl3
SiCl4	SiH(OCH3)3	SiHCl3	Ta(OC2H5)5	TBTDETa
TDEAHf	TDEAT	TDMAS	TDMAT	TEB
TEMAHf	TEMAZr	TEOS	TEPO	THF
Ti(O-iPr)4	TiCl4	TMCTS	Toluene	1,3-DMA

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