- 如果您對該產品感興趣的話，可以
- 產品名稱：VC1310 非載氣直接注入式液體汽化器
- 產品型號：
- 產品展商：日本HORIBA
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簡單介紹
HORIBA的液體源汽化系統包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監測/汽化原理制作產品，比如壓差監測法或HORIBA更早前開發的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統。我們多種不同的汽化系統以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。
HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經驗
產品描述
商品詳情
Horiba 直接注入式液體汽化器VC1310
非載氣，5scmm
概要
由于是無載體類型，所以可以構筑小型氣化系統
由于通過質量流量來測定發生量，所以可以不必受到溫度?壓力的影響進行液體材料的氣化供給。
特征
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超小型 ： 只有原來的1/5
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高速完全氣化 ： 可以瞬間完全氣化被供應的液體。
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安裝固定方向自由 ：無論在哪一個安裝固定方向，都可以保持相應功能。
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不需要氣泡式容器、氣化容器
規格
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VC-1310
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產生流量 (TEOS發生時)
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小于1.0 CCM (液相的換算) ※1
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對象液體種類
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會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
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可升溫溫度
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上限值 150℃
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接氣部材質
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SUS-316L (PTFE)
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耐壓
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1.0MPa(G)
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VC-1310
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產生流量 (TEOS發生時)
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上限值5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1
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對象液體種類
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會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
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|
可升溫溫度
|
上限值 150℃
|
|
接氣部材質
|
SUS-316L (PTFE)
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|
耐壓
|
1.0MPa(G)
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※1 不同的液體種類將會有所差異。請進行咨詢協商。
液體源汽化系統
HORIBA的液體源汽化系統包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監測/汽化原理制作產品，比如壓差監測法或HORIBA更早前開發的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統。我們多種不同的汽化系統以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。
HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經驗
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Acetic Acid
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Benzene
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B(OCH3)3
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BTBAS
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C6F6
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Cyclohexane
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Decyl-TMOS
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DPM
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DPMS
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Ethanol
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Ge(OCH3)4
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GeCl4
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H2O
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HCD
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HDFDA
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HMDS
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HMDSO
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i-Octane
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IPA
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Me-Cyclohexane
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Methanol
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n-Octane
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OMCTS
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OMTS
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P(OCH3)3
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PO(OCH3)3
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SAM24
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Si(CH3)4
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Si(OCH3)4
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SiCH3Cl3
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SiCl4
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SiH(OCH3)3
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SiHCl3
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Ta(OC2H5)5
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TBTDETa
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TDEAHf
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TDEAT
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TDMAS
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TDMAT
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TEB
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TEMAHf
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TEMAZr
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TEOS
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TEPO
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THF
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Ti(O-iPr)4
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TiCl4
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TMCTS
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Toluene
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1,3-DMA
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