超純水管理用 高靈敏度硅表 SLIA-300

概要

在半導體/FPD工藝中，超純水中的二氧化硅濃度會給產品精度以及原材料利用率帶來很大影響。高靈敏度硅表 SLIA-300完全能夠達到1μg/L(1ppb)等級的檢測要求。在其小巧的臺式型機身中可實現在整個檢測范圍內的高靈敏度檢測。連同HORIBA享有好評的一些基本特性，例如高速響應性以及自我診斷功能等，其值得夸耀的表現將靈敏度帶入了一個新的等級。SLIA-300為半導體/FPD制造流程中的純水工藝提供了強有力的支持。

特征

●高靈敏度、以及較高的重復性。
利用HORIBA新開發的，獨特檢測單元，SLIA-300實現了應對低濃度的高靈敏度測量。通過5分鐘的高速測量，可保證在0?2μg/L量程中實現全刻度±2%的重復性。
●小巧設計的臺式型。
新開發的檢測單元技術，實現了劃時代的小巧設計。由于是臺式型，所以可以適用于各種各樣設置條件等較小空間。也可以作為移動式使用。
●試劑的消耗量可降低80%。
采用改良型檢測單元，可以把試劑的消耗量降低到原來的80%。能夠大幅地削減試劑的經費成本。
●*多可檢測6個點。(可選件)
支持多點檢測，SLIA-300支持的多點檢測。檢測點數可以在1和6之間進行任意設定。
●自我診斷功能檢查運行錯誤。
該功能可對試樣水以及試劑的注入、校正、檢測單元內溫度和光源異常等運行錯誤進行監測和自我診斷。如果發生錯誤，就會以報警燈顯示，同時通過文字顯示輸出信息。
●通過自動校正，實現良好維護性。
每次測量之前將自動進行零點校正，除可以確認透過光度以外，還可以修正濁度的影響。
●采用不需要更換的半長久性光源。
采用光量穩定、 工作壽命長的單色性半導體光源。
 

規格